Exkursionen

Exkursion zum MikroLAB

Der Seminarkurs Bio-Chemie, unter der Leitung von Frau Schmidt, hat am 18.10.2011 das MikroLAB der Lise-Meitner-Schule besucht. Dort haben wir, unter Aufsicht, das Verfahren der Photolithographie durchgeführt.

Herr Norbert Schwarz und Herr Weisselberg vom Ferdinand-Braun-Institut aus Adlershof nahmen uns in Empfang. Sie haben uns arbeitsteilig später etwas zu dem Transistor erzählt und uns genau die einzelnen Schritte erklärt, wie man beim Beschichten eines Wafers oder einer Glasplatte vorgeht. Danach konnte jeder am Computer sein eigenes Bild erstellen, womit die Glasplatte später beschrieben werden sollte.

Wir gingen dann in einen mit gelbem Licht beleuchteten Raum. In diesem erhielten wir Schutzbrillen, Kittel, Handschuhe und unsere Glasplättchen. Die Plättchen waren bereits mit Aluminium bedampft worden. Anschließend beschichteten wir die Glasscheiben mit rotem Photolack. Dies musste zum Trocknen für fünf Minuten auf die Hotplate. Als sie getrocknet waren legten wir die Plättchen auf unsere kleinen selbsterstellten Bilder, die dann unter UV-Licht belichtet wurden. Nachdem die Strukturierung fertig war, mussten unsere Glasplättchen wieder für eine weitere Minute auf die Hotplate. Es folgten noch zwei weitere Vorgänge, dass Ätzen und die Entwicklung, welche sehr viel Geschicklichkeit und Konzentration erforderte.

Die Glasscheiben wurden anschließend in Ethanol geschwenkt, da kein Aceton mehr vorhanden war, welches den Lack ablösen würde. Nach einigen Sekunden in der Moulinette waren unsere Glasplättchen trocken und fertig. Abschließend zeigte uns Herr Weisselberg den Behälter, in dem die Glasplättchen unter Vakuum mit Aluminium bedampft werden. Dieser Vorgang dauerte ungefähr 25 Minuten, in denen uns keinesfalls langweilig war, da uns Herr Schwarz zeigte, wie und womit man die Strukturen auf unseren fertigen Glasplättchen ausmessen kann und er beantwortete alle aufkommenden Fragen.

Die mit unserem selbsterstellten Logo beschichteten Glasplättchen konnten wir als Andenken mitnehmen. Die Exkursion war eine informative Abwechslung zum Schulalltag, welche uns allen viel Spaß bereitete!

Text: Laura Stephan (Q1)

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