Exkursionen

Unser Tag im MikroLAB

Am 03.10.2007 hat sich der Seminarkurs Bio-Chemie, der dieses Jahr zum ersten Mal stattfindet, mit Fau Schmidt auf den Weg in die Lise-Meitner-Schule gemacht, um etwas Praktisches über die Photolithographie kennenzulernen.

Die Lise-Meitner-Schule ist ein Oberstufenzentrum für die Fächer Chemie, Physik und Biologie und erweckt von außen keinen schönen Eindruck. Das Gebäude ist alt und es riecht nach Essen und Zigarettenrauch.

Dort sind wir mit Herrn Norbert Schwarz verabredet gewesen, der uns einen Vortrag über die Erfindung des Transistors und über die Photolithographie gehalten hat. Nach diesem informativen Vortrag ging es zum eigentlichen Grund für unser Kommen, denn wir sollten selbstständig eine Glasscheibe mit Photolithographie beschreiben.

Dafür gingen wir in einen Raum mit gelbem Licht und jeder bekam eine Glasscheibe in Diagröße, die zuerst in Ethanol mithilfe von Ultraschallstrahlen gereinigt wurde. Danach erfolgte das Abspülen mit Wasser. Mithilfe der durch eine umgebaute Moulinette erzeugten Fliehkraft wurde das Wasser anschließend entfernt. In einem Behälter, der ein von einer Pumpe erzeugtes Vakuum aufwies, wurden unsere Glasscheiben jetzt bei 10^-5 mbar mit Aluminium bedampft. Dieser Vorgang dauerte ca. 20min. In der Zwischenzeit hörten wir einen Vortrag über den Aufbau und die Funktionsweise dieses Behälters. In einem mit Computern ausgestatteten Raum entwickelten wir hinterher ein Bild, das wir auf die Glasscheiben bringen wollten. Nach einer kurzen Pause ging die Arbeit weiter und wir belackten unsere inzwischen silbern gewordenen Glasscheiben mit ritem Photolack, den wir für 5min auf einer Hotplate eintrocknen ließen. Daraufhin erfolgte eine Belichtung unter UV-Licht, die eine Strukturierung bewirkte. Nach einer weiteren Minute auf einer noch heißeren Hotplate konnten wir die Glasscheiben nacheinander entwickeln und ätzen. Der Lack wurde durch Aceton abgelöst (strippen) und wir konnten unsere fertigen Glasscheiben begutachten.

Trotz des anstrengenden Tages - das gesamte Programm dauerte ungefähr vier Stunden - hat uns der Aufenthalt im MikroLAB viel Spaß gemacht. Die erste Exkursion des Seminarkurses Biologie/Chemie ist ein voller Erfolg gewesen.

Sarah Ewald

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